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    泛华恒兴 质量流量传感器校准系统

    2011-12-27 北京泛华恒兴科技有限公司 分享

     

    a)产品概述

    质量流量传感器校准系统作为质量流量传感器生产线终检校准设备,用于小量程质量流量传感器的通讯功能测试以及不同温度下的校准,以保证产品质量及精度。

    b)应用专利技术

    本系统中以下技术正在申请实用新型或发明专利:

    《批量传感器固定可识别装置》
    《无绕线针床夹具》
    《高密封阀组》
    《一种多气路连接器装置》

    c)系统功能

    主要功能

    描 述

    用户管理

    管理用户登录及操作权限,按权限高低分为管理员、工程师、技术员、线长和操作员,管理员具有最高权限,可以添加、删除和修改用户信息;

    工单操作

    用于创建不同温度下的工单任务,只有当前存在的工单被终止或完成时,才能创建下一个工单;

    参数配置

    用于工程师对校准或测试参数进行配置;

    模式选择

    提供生产模式、工程师模式以及校验模式共三种工作模式;

    错误日志浏览

    为用户提供按时间查询的错误日志浏览;

    数据存储

    自动存储测试过程数据。

    d)特性详解 

    • 兼容多种信号输出类型的传感器——

       

      信号类型

      输出方式

      模拟量

      电压信号

      数字量

      IIC通讯信号

      SPI通讯信号

      PWM脉冲信号

       

    • 温度可控范围宽,稳定性优异——可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制,温度控制精度为 1℃,目标温度下的温度波动度为 0.2℃;
    • 良好的气路密封性——采用钢质气管,采用少接头设计,确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次(用不同颜色的曲线代表)泄漏测试时的泄漏率。(单位为sccm/s,测试压力为2.5psi,保压时间 20s,每个传感器夹具包含4条气路)
    • 高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm,温度控制精度 1℃。
    • 高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作,8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间,达到160 DUTs/h,满足生产线节拍的要求。

       测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下(50/100/160/200sccm)的GRR数据,均<10%。

    • 便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号,损坏时更该模块即可;气路装拆方便;继电器状态通过指示灯显示,指示直观。
    • 完善的安全机制——智能流程判断;提供急停等安全操作机制,在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。
     
     
     
     
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