应用案例-半导体封装设备的合模定位———上海慧森电气检测工程应用案例

应用背景:
材料:芯片封装机械合模定位,合模位置精度要求1um。
检测要求:1、合模时在上下模具距离4mm 时给出减速信号;2、在合模到位时给出合模到位信号,合模到位时的位置精度要求在1um;3、合模到位的位置可以根据需要(如更换模具)在控制器中重新设定,而不需要重新安装传感器


方案配置:
1、SK 位移/(在线)厚度/定位检测控制器
2、单路磁敏探头SHRM-12AU05
3、金属被检测块
4、屏蔽电缆长度根据实际要求配置


传感头安装说明:
检测材料:上下模具的距离通过传感头与金属被检测块之间的距离来定位。
检测范围:0~5mm,推荐检测范围0.5~4.5mm,也即是减速点与定位点的距离须在推荐的检测范围中。 其中0~0.5 的范围为探头安全保护范围,传感头的安装支架上设计了防撞挡块。
模具可测范围:0.5~4.5mm;
探头尺寸及安装说明:详见http://www.hiison.com/down/html/?31.html

 
参数设置说明:

1、减速点:上模具距离下模具4mm 的位置输出减速点到达信号。
2、合模定位点:上模具与下模具合模位置到达,控制器输出信号,位置精度1um。
3、模具更换后,只需在参数中重新设置上述两点。
4、合模定位点的整定:设备在出厂调试时,采用别的方式将模具控制到合模位置,记录下此时的传感头与金属被检测材料的距离,将此位置作为合模到位的定位点。
5、详细信息,请参考《SK 位移/(在线)厚度/定位检测控制器说明书》。

上海慧森电气有限公司