2006年5月30日,在沈阳浑南新区暨沈阳国家建设创新型城区新闻发布会上，沈阳市副市长、浑南新区管委会主任王翔坤为沈阳先进制造技术产业发展有限责任公司(AMT)承建的沈阳IC装备孵化器创业创新平台揭牌。当日还有辽宁省药物制剂工程研究中心以及沈阳数字动漫产业基地同步揭牌。 
    沈阳IC装备孵化器是浑南新区创业创新体系内的三大特色孵化器之一 。它的成立，将推动沈阳IC装备产业发展，进行中小企业的培育和孵化，并为提升沈阳传统装备制造业企业，提供技术服务平台、人才培养和交流平台、国际合作平台服务。 
    AMT公司从成立之日就一直努力推动沈阳IC装备产业的发展。2002年底，AMT公司与韩国合资成立了沈阳芯源先进半导体技术有限公司。2005年成功完成了全球最大IC装备制造商—美国应用材料公司委托的大型平板显示大型精密零部件加工任务，这是中国大陆首次完成的大型精密IC装备零部件加工任务，实现了零的突破，是AMT公司又一次成功的国际合作。目前该公司委托的第二批批量加工图纸以提交到AMT公司。 
    AMT公司于2005年10月开始了建筑面积为12000平方米的沈阳IC装备孵化器建设，该孵化器将于2006年7月底投入使用，目前已有10家企业与AMT公司签订入驻协议。