SecsGem通讯软件
SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard的简称,GEM 是Generic Equipment Model的简称。SecsGem协议被认为是从工具到主机通信的最佳方案通讯,因此在六寸以上的晶圆制造工厂它是常见的通讯标准。
为了分析和统计设备的生产有效性,派生出了SEMI标准E10,该标准定义了六个设备状态:生产、待机、工程、计划停机、非计划停机和无计划。这样一个单一的软件工具将使用现有的固定资产设备增加生产力。
无锡华意兴航电子科技有限公司应客户的要求,开发出了HOST和Equipment SecsGem两种通讯软件。
HOST SecsGem软件能完成主要的通讯功能:
1.建立通讯(Establish Communications Request):S1F1、S1F13
2.状态变量查询(Variable query):S1F3
3.设备菜单查询(Current PPID Request):S7F19
4.下载菜单(PPSelect)、远程控制(START/STOP/RESET):S2F41
Equipment软件的功能由两部分组成:
第一部分是负责采集Omron PLC控制系统的状态数据、收集报警和事件信息、下载菜单参数和发送控制命令等。基于PC-Base的程序与Omron PLC通过C-Mode 协议(Command)由RS232进行通讯。
第二部分是负责与HOST建立通讯、回答HOST的查询与请求、执行HOST的远程控制命令和向HOST上报机台的报警与事件。Equipment与HOST是通过TCP/IP协议执行SecsGem标准进行通讯的。