实现了高精度、 高速处理, 提高了生产性 重复定位精度为±0.01mm/分辨率(最小移动范围)0.01mm 最大移动速度800mm/sec. (X,Y轴) 可搬送重量主轴部7kg,桌面15kg 动作范围300×300mm 备有3次元直线、 圆弧插补控制