可对应小批量生产方式、 高精度涂布自动手可对应99种编程频道 重复定位精度为±0.01mm/分辨率(最小移动范围)0.0125mm 最大移动速度800mm/sec. (X,Y轴) 动作范围200×200mm 实现了3次元直线、 圆弧插补控制 在海外