KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形状测量激光显微系统
2011-10-19
KEYENCE－基恩士国际贸易（上海）有限公司
KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形状测量激光显微系统。
使用激光显微系统则可全部简单地实现
|
|
|
|
|
| SEM |
| |
|
| 前处理或样本尺寸等的准备烦琐，仅能以黑白色进行观察。 |
|
|
| 粗糙度仪 |
| |
|
| 不能够实现一边放大观察，一边对工件部位实施非破坏性的凹凸测量。 |
|
|
|
|
|
|
| 高分辨率， 最大放大24000 倍 |
| |
|
| 光盘坑（6000 倍） |
|
|
|
|
| 符合溯源性要求 |
| |
|
| 使用 VK 系列获得的测量结果是高度可靠的测量数据，并且符合国家标准溯源性。 |
|
|
|
|
|
|
| 颜色不能确定，因为图像是黑色和白色 |
| |
|
| 墨粉 (1000 倍) |
|
|
|
|
| 样本大小是受限制的 |
| |
|
| 由于受到样本的大小或者样本不适合在样品室等原因的影响，观察有时是不可能的。 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 各种样品的测量 |
| |
|
| 可拆卸测量头单元允许各种尺寸的样品测量。可拆卸测量头单元可以与其他设备整合并支持远程操作。 |
|
|
|
|
|
|
| 由于接触探针造成样本刮伤 |
| |
|
铝表面（200 倍）
在屏幕上水平凹槽。 |
|
|
| 难以测量目标 |
| |
|
| 用触笔击中目标的理想位置可能会产生一些问题，例如目标为螺纹顶。 |
|
|
| 分辨率受限于触笔尖端直径 |
| |
|
| 无法测量粗糙度小于测量仪器的触笔尖端的粗糙度的表面。 |
|
|
|
|
全方位性质的清晰观察
|
从光学观察到类似于彩色 SEM 的高分辨率观察
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
|
16 bit 激光彩色观察
|
在大气中以全方位性质的分辨率实现全焦观察。
|
|
|
|
在大气中以全方位性质的分辨率实现全焦观察。
|
通过短波长激光全面扫描，能够以光学显微镜无法实现的分辨率，按 200 至 24000 倍率* 实现全焦观察。
* VK-X200 系列时 |
|
以类似于 SEM 的分辨率实现真彩观察。
|
| 对于由激光获取到的各像素均已正确对焦的高度的色彩信息，由 CCD 相机按每 １ 像素分别提取，再转换成激光高分辨率图像。 |
|
可运行所有表面形状测量
|
对于拍摄到的图像可自由测量
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
|
“想测量高低差· 形状实现数值化”
|
|
[剖面 ３D 测量]
高度· 宽度· 角度截面积测量 |
| 对测量屏幕上任意指定的直线或曲线的横截面轮廓，都可进行“高度”、“宽度”、“横截面”、“角度”、“R 值”等测量。 |
|
|
|
| 表面积· 体积测量 |
| 测量屏幕上任何指定区域的“体积”、“表面积”、“ 面积∶表面积之比”。 |
|
“想要将表面状态的差异实现数值化”
|
|
[可以精确测量线粗糙度和面粗糙度]
线粗糙度测量 |
| 可以一边观察2D 或3D 图像，一边避开顶点或异物，测量目标部位的粗糙度。 |
|
|
|
| 面粗糙度测量 |
从视觉上来讲存在差异，那么差异究竟有多大呢? 可以测量面的粗糙度，通过数值确认平均化后的差异。
（例）功能性薄膜的暗纹（3000 倍） |
|
透明薄膜测量内置“独特的算法”
|
|
| 不仅实现膜厚测量﹐还可获取最表面和背面的形状。 |
| 可对观察视野整个区域执行多层分析。可对已选的各层或多层进行 3D 图像显示、横截面轮廓显示，可测量任意位置的形状、薄膜厚度。 |
|
“想要一次性自动拍摄· 测量多个样本”
|
|
[自动测量具备规则图形的工件]
自动宽度· 高度测量 |
| 对于具备规则图形的工件的宽度· 高度，按照设置条件自动测量。由于是自动测量，因此不会生成人员造成的误差，可以在短时间内完成测量。 |
|
全自动测量
|
谁都可以实现和熟练人员一样的测量
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
|
|
|
|
|
| 通过融入长年专有经验的 AI-Scan，仅需按下“ 测量开始”按钮，便能得到符合样本的最佳设置，实现全自动测量。 |
|
| |
|
| |
|
[世界首创] AI-Scan 3 个功能
|
|
| 单击测量开始按钮便可实现 |
| |
|
| 1. AAG 功能 |
对受光组件的激光受光灵敏度运行 ２ 项最佳调整。对于有斜度的样本或混合存在明暗的样本也可正确测量。
* AAG=Advanced Auto Gain |
|
| 2. 自动上下限设置 |
| 对于样本的上下限在整个画面区域实现自动识别和设置，在上下限范围之内运行扫描和测量。 |
|
| 3. 双扫描功能 |
| 识别到未有效拍摄的部分时，会自动改变设置，运行二次拍摄，获取正确的数据。 |
|
广视野的测量
|
通过 WIDE-Scan 简单 · 高速地实现广视野的测量
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
|
课题 1
|
|
|
|
| 视野狭窄的话，无法明确正在观察哪个部位。还想观察周围。 |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| 使用 WIDE 的话则可一目了然，不会发生测量部位的错误。 |
| 想要提升倍率实现高精度的观察· 测量时，有时会因视野狭窄而不明白正在观察哪个部位。按照对应目标分辨率的倍率使用 WIDE-Scan 的话，则可简单地获取到广视野的高分辨率 3D 图像。之后对观察部位也可做到一目了然。 |
|
|
课题 2
|
|
|
|
| 关于局部性的测量，会因拍摄部位不同而使数据生成偏差。 |
|
| |
|
| |
目录下载：
| http://china.keyence.com/GKVKX01 |
|
