最近,J.P.Sercel Associates公司推出其全新的IX-200系列激光系统,拥有DPSS和准分子紫外激光器两种配置。 IX-200 ChromaDiceTM 的DPSS版本是高精度晶圆切割系统,适用于晶圆切割和划片应用中。其半导体泵浦固态(DPSS)激光系统能带来高速晶圆划片和切割,使得典型收益增加超过99%。该工艺适用于所有的晶圆类型。IX-200系统同样拥有准分子激光版本,可完成钻孔,微加工,掩膜加工以及许多其他半导体封装应用当中。 紫外晶圆切割系统

IX-200 ChromaDiceTM目前提供266nm或355nmUV-DPSS激光波长,可用于广泛的加工领域;它能获得宽度仅为2.5μm的切缝,使得每块晶圆切割出的芯片产量增长超过24%,收益增长超过99%。特别是对于GaAs, Si等材料能获得出色的效果,可切割最高6英寸晶圆。
IX-200 ChromaAblateTM系统采用准分子激光配置。其248nm波长适用于Si, GaN, GaAs以及其他 III-V族的材料,以及聚合物,陶瓷等等。此外还可选择193nm光束,用于不适用较长的紫外波长进行加工的聚合物,以及用于波长小于248nm紫外激光不易加工的透明材料。公司总裁Jeffrey P.Sercel表示,“ IX-200是全新系列工业级紫外激光加工站,完全设计定位用于在数月而不是数年收回投资成本。尽管其具有较低的初期投资,但是它依然能够提供工业级,稳定耐用的性能;它是真正用于每周7天,每天24小时高效生产的工具。”