什么是IC？IC即集成电路，是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能。IC装备是指生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备。IC是计算机业、数字家电业、通信等行业的“心脏”。而生产“心脏”部件的设备————IC装备业，因占据了科技的制高点，被称为制造业的“珠穆朗玛峰”。
我国彩电、手机、台式计算机、DVD播放机等产品的产量虽居世界第一，但关键芯片仍依赖进口。就单一产品而言，芯片已经成为我国进口总值最大的商品。IC产业是一个技术密集和资金密集的产业。说它小，IC产品可以比纸片薄，却比黄金贵。说它大，IC产业事关国民经济与国防安全，是一个先导性、战略性产业。
自主创新 培育产业集群 “我们可以生产IC产品，但我们现在全部依靠进口IC设备。如果IC装备业不能依靠自主创新尽快赶上来，我国IC产业只能是‘代代引进、代代落后’，总是受制于人。”沈阳IC装备创新产业园负责人郑广文这样介绍沈阳IC起步的背景。
介入IC装备制造领域，沈阳不是最早的却是发展最快的。作为东北装备制造业基地，沈阳瞄准国际IC产业及其装备产业向中国转移的发展契机，将IC装备制造作为老工业基地产业升级的着力点加以推动发展，并于2004年率先建立了全国第一个IC装备制造产业基地，2005年建设了沈阳IC装备创新产业园，并编制了发展IC装备产业的“十一五”规划。
目前，沈阳IC装备产业基地聚集了中科仪、芯源半导体、新松机器人、博微公司等涵盖IC装备产业链上多数环节的30多家IC装备厂商，产业园区也从最初的零部件加工、子系统研制发展到单元、整机制造全面发展格局，产业集群已经初步形成。各企业之间优势互补、通力合作，在超真空获得系统、成膜设备、匀胶显影机、真空洁净机器人、超洁净真空泵和高精度零部件加工等方面取得了重要突破，其中匀胶显影设备使国内技术水平提升了3个产品代，达到国际先进水平，另有多项产品填补国内空白。
从科技成果来看，由沈阳芯源微电子设备有限公司研制的12英寸晶圆先进封装设备通过严格的工艺检测验收，已正式投入生产使用。这是国内首台12英寸芯片制造设备，是国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。2007年6月，沈阳IC装备产业基地被国家认定为全国中小企业技术服务项目试点产业集群之一，是全国惟一的IC装备产业集群试点。
发挥优势 实现错位发展
IC装备产业林林总总，全面突破技术瓶颈并顺利实现产业化，靠任何一个城市的单兵突进都是不可能完成的任务。沈阳IC产业的跨越式发展得益于“发挥比较优势错位发展”的思路。
早在“十五”期间，北京市和上海市就在刻蚀机、离子注入机和光刻机三项IC装备研发领域加大投入，并争取到国家专项资金近10亿元。IC装备核心技术的突破，依然面临技术瓶颈下移的掣肘，真空泵、阀门、机械手等基础单元部件依然全部依赖进口。而在这些环节，沈阳IC装备产业却积累了很多研发力量并取得了相应的技术成果，比如IC产业必需的真空技术、自动化技术、特种工艺等方面沈阳具有得天独厚的条件。 |
