“摩尔定律”为半导体产业的发展提供了加速度，在整个产业飞速发展的同时，对其进行支撑的设备制造业也需要通过不断创新、加快研究进程来满足整个产业的需求。

    设备创新带动产业发展 

    半导体设备的发展本身就是技术创新的过程，IC产业的高速发展，其背后是以设备的创新和发展做支撑的，新的工艺技术总是用新一代设备实现的。 

    开发新产品适应市场的需求是每个企业必须考虑的问题，半导体设备企业也不例外。北京京联发数控科技有限公司董事长秦建国表示，半导体设备创新可以为用户提高生产能力和产品质量，降低产品成本。这样的创新产品会给企业及用户双方带来更好的效益。为了开发新的产品要不断地吸收高科技人才，对该行业的产品生产要有充分的认识，对该行业的发展方向要不断地了解情况，以便设备企业能跟上国内外半导体行业的快速发展，更快更好地为市场提供优质的设备。 

    中电科技集团第四十五所技术工程部主任张续业告诉记者，国内从事半导体设备研发制造的企业如果没有创新，面对国内外的大市场，就肯定没有可持续发展的后劲，就不会有美好的明天和很好的经济效益，更不会从根本上解决我国电子工业基础落后的局面，就会永远跟在国际先进技术后面无法超越。因此，每一个半导体设备企业一定要根据自身产品的技术特点，集中研发适合于自身企业发展特点的半导体设备，困难再大也要坚持下去，只有这样，才能逐步从根本上解决我国电子工业基础落后的局面。当然，在某些外部环境上还得寻求国家有关部委的政策性支持。 

    北京京运通科技有限公司副总经理王军在接受《中国电子报》记者采访时表示，没有创新就没有生命力。我国半导体设备技术本身就落后于其他发达国家，所以企业创新能力也就是国家在该领域赶超其他国家的重要力量；其次，在技术飞速发展的信息社会，旺盛的创新能力是企业健康发展、产品满足市场的重要因素。 

    设备商应紧密联系用户 

    半导体行业的技术更新很快，设备厂商必须与用户紧密联系、合作，才能急客户之所急，才能不断推出客户需要的产品，并在使用中不断完善提高。 

    张续业告诉记者，从45所几十年的发展过程来看，虽然在样机研发、基础预研等方面填补了多项国家空白，为国家做出了相当大的贡献,但要进入大生产线尚需一定的时间。主要原因是我国的基础工业和配套能力与国外公司相比，差距太大，这是一个解决起来非常困难的系统工程，还需国内产业链上下端的企业共同做出艰辛努力，才能达到预期的目的。这是一条充满艰辛的道路，但也是一条必由之路。 

    用户对半导体设备的要求是提高自动化，提高设备的精度，把半导体设备制造得更好更完善需要更高的技术及资金，两方面缺一不可。秦建国表示，目前市场上半导体设备的竞争越演越烈，不断投入人力、财力、物力去研发新产品会使制造企业不断发展和壮大。国内半导体设备生产企业应跟上市场的发展，不断为市场提供高性能的设备，不断研究半导体的发展方向，开发和研制新的设备，把企业制造的设备推向国际市场。