技术参数
|
型号
|
IVG2010
|
IVG3020
|
IVG4030
|
IVG5040
|
|
|
行程(mm)
|
200×100×200
|
300×200×200
|
400×300×200
|
500×400×200
|
|
|
外部尺寸(mm)
|
1040X740X1620
|
1040X740X1620
|
1240X800X1620
|
1440X1000X1620
|
|
|
承重(kg)
|
25
|
25
|
25
|
25
|
|
|
测量精度
|
XY轴
|
(2.5+L/200)µm
|
|||
|
Z轴
|
(5+L/200)µm
|
||||
|
CCD
|
百万像素彩色CCD
|
||||
|
光学系统
|
NAVITAR镜头，光学放大倍率：0.5x - 4x，总放大倍率：36x - 288x
|
||||
|
光源
|
轮廓光
|
LED方形光源，亮度可调
|
|||
|
表面光
|
多角度LED环形光源，亮度可调
|
||||
|
光栅尺分辨率
|
0．5µm
|
||||
|
运动控制
|
多轴高精度运动控制卡
|
||||
|
软件
|
microscopeium
|
||||
|
电源
|
220V/50Hz
|
||||
|
工作环境
|
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度40～80%
|
||||
|
振动<0.002g，低于15Hz
|
|||||
