产品特点： 推力特性平滑；无纹波推力和电磁吸力；运动质量轻，加速度大；模块化设计；行程可任意延长 主要应用： 半导体生产制造设备，包括晶圆制造和 晶片封装设备 平板显示器产业（FPD ）精密测试设备、激光器件耦合对心 硬盘制造、连接器制造、激光成像、印刷制板设备 生命科学、医疗设备、机器视觉检测设备、各种取放
